Bei einem ESXi-Server kann man eine VM "mit Images exportieren". Dann werden eine OVF-Datei, die die Konfiguration der virtuellen Maschine beschreibt, wahlweise alle VMDK-Dateien für die eingebundenen virtuellen Festplatten und optional eine NVRAM-Datei, die den Inhalt des virtuellen NVRAM enthält, exportiert. Ganz zum Schluss wird noch eine Manifest-Datei (VM-Name.mf) erzeugt und exportiert, die SHA1-Prüfsummen für die anderen Dateien enthält.
Beim Export einer ziemlich großen VM (3 virtuelle Festplatten mit ca. 1,7 TB) ist leider dieser letzte Schritt gescheitert, sodass die mf-Datei fehlt.
Auch wenn die Ursache im Knowledge-Base-Artikel "Export of VM to OVF fails to export the manifest file(.mf) error: #1009 (52650)" eine andere war, hilft der dort beschriebene Workaround. Man kann nämlich mit openssl einfach eine neue mf-Datei erzeugen (wobei ich noch die NVRAM-Datei ergänzen würde):
openssl sha1 *.nvram *.vmdk *.ovf > MyVM.mf
Den Dateinamen muss man noch auf den Namen der VM ändern (also den Namen der OVF-Datei ohne Erweiterung).